Konkurenca EUV sega do perifernih polprevodniških naprav

Prednost Tokyo Electronics je "Coater Developer". Ta oprema se uporablja za nanašanje posebne kemične tekočine na silikonski rezini kot polprevodniškega materiala, da se ta razvije. Na področju opreme za množično proizvodnjo EUV je tržni delež družbe 100-odstoten. Skupna prodaja v tem proračunskem letu naj bi dosegla 1,28 bilijona jenov. Več kot 10% tega se bo porabilo za raziskave in razvoj za utrditev vodilne prednosti v fazi popularizacije EUV.

Na trgu opreme za proizvodnjo polprevodnikov, ki znaša več kot 6 trilijonov jenov na leto, se dogajajo generacijske spremembe.

Čim lepša je širina vodnika polprevodnika, večja je njegova zmogljivost in trenutni vrhunski izdelek je 5 nanometrov. Za prenos tako tankega vezja na silikonsko rezino je stroj za litografijo EUV nepogrešljiv. Z naraščajočo ponudbo ASML, edine množično proizvedene EUV metode na svetu, se je začela tudi razvojna konkurenca, ki vključuje periferno opremo, kot so prevleka in viri svetlobe.

Simbol spremembe generacije je proizvajalec testne opreme Lasertec. Če v fotomasku kot na originalni vezji obstajajo napake, se bo stopnja okvare polprevodnika ustrezno povečala. Podjetje proizvaja testno opremo, ki podpira EUV, njegova naročila pa so se od julija 2019 do marca 2020 povečala 2,2-krat v primerjavi z istim obdobjem lani in dosegla 65,8 milijarde jenov. Dve tretjini letnih naročil naj bi bilo povezanih z EUV.

Poleg tega potekajo tudi ostri spopadi med japonskimi podjetji. Na področju pisalnih strojev z elektronskimi snopi Toshibina tehnologija NuFlare dohiteva zavezništvo med JEOL in IMS NANOFABRICATION (Avstrija). Poudarek je na razvoju tehnologije "Multi-Beam" z uporabo 260 000 laserskih žarkov.

Januarja je Toshiba ugnala HOYA, ki je sprožila sovražno TOB (javno razpisno ponudbo) in utrdila svoj nadzor nad Niu Fulai. 25 novoodprtih razvojnih tehnikov itd. Načrtuje, da bodo do leta 2020 dobavili opremo za litografijo nove generacije, ki podpira EUV.

Gigaphoton (ki se nahaja v mestu Oyama City, prefektura Tochigi), hčerinsko podjetje Komatsu, ki proizvaja laserske vire, se veseli vrnitve. Pred nastopom EUV je podjetje postalo eno prvih dveh na področju virov svetlobe za litografske stroje. Vendar zaradi razlogov, kot je nakup konkurenta s strani ASML, trenutno izgublja svojo prisotnost. Gigaphoton si prizadeva razviti komponente visoke svetlobne vire, preden ASML lansira opremo nove generacije EUV, da bi si pridobil tržni delež.

Ozadje za podjetja, ki pospešujejo razvoj opreme EUV, je tekmovanje v miniaturizaciji, ki sta ga začela južnokorejska podjetja Samsung Electronics in TSMC. Povpraševanje po visokozmogljivih polprevodnikih, kot je 5G, je veliko, obe podjetji pa tekmujeta za vsak litografski stroj ASML, vreden več kot 20 milijard jenov. V tem procesu se širijo tudi poslovne priložnosti okoliških podjetij za proizvodno opremo.

Statistični podatki Mednarodnega združenja opreme in materialov za polprevodnike (SEMI) in Japonskega združenja za proizvodnjo polprevodnikov (SEAJ) kažejo, da je tržni delež opreme za proizvodnjo polprevodnikov, izdelane na Japonskem, v letu 2019 znašal 31,3%, kar se je v preteklosti gibalo okoli 30% 20 let.

Na področju litografske opreme sta Nikon in Canon že prej preplavila svetovni trg, vendar nista uspela v konkurenci ASML in sta zaostala pri razvoju EUV. Na polprevodniškem področju, ker je postopek izdelave težaven, narašča težnja k dobitku vseh. Spremembe generacij, ki bodo uporabile EUV, bodo prav tako pospešile preživetje najmočnejših v podjetjih za opremo.

"Naložbe v vrhunsko opremo na celinskem trgu so prenehale," je vzdihnil vodja podjetij, povezanih z EUV in deli in sestavnimi deli. Ker ga nizozemska vlada ni odobrila, ASML ni mogel izvažati litografskih strojev EUV na celino. Poleg tega se ustavi tudi nakup periferne opreme in delov.

Med Kitajsko in ZDA obstajajo trgovska trenja. Če opreme ASML ni mogoče uvoziti, bodo proizvajalci celinskih polprevodnikov zaostajali v konkurenci miniaturizacije. Vlada celine postavlja cilj, da bo stopnja samooskrbe polprevodnikov do leta 2020 dosegla 40%, do leta 2025 pa 70%, vendar je to težko doseči. Številni pogledi menijo, da so ZDA izvajale pritisk na nizozemsko vlado, da jo uporabi kot orožje sankcij.

Statistični podatki Mednarodnega združenja opreme in materialov za polprevodnike kažejo, da je trg opreme za proizvodnjo polprevodnikov leta 2019 znašal 59,7 milijarde ameriških dolarjev, kar je 59% več kot v letu 2014. V tem obdobju je celinski trg povečal svojo prisotnost in svoj delež na svetu skupni trg se je z 11,6% v letu 2014 povečal na 22,5%. Za japonska podjetja za proizvodnjo opreme za polprevodnike je celina postala trg, ki ga je težko prezreti.

Razvoj tehnologije EUV je težaven, stroški za raziskave in razvoj vseh podjetij pa se širijo. Če se trg ne bo več širil, se bo donosnost naložb podjetij zavlekla, razvoj novih tehnologij pa bo morda težko napredoval.